一种三轴陀螺仪

基本信息

申请号 CN202121119789.4 申请日 -
公开(公告)号 CN216049919U 公开(公告)日 2022-03-15
申请公布号 CN216049919U 申请公布日 2022-03-15
分类号 G01C19/5762(2012.01)I 分类 测量;测试;
发明人 蒋乐跃;丁希聪;凌方舟;姜萍;李光煊 申请(专利权)人 美新半导体(天津)有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 庞聪雅
地址 300450天津市自贸试验区(空港经济区)西三道158号金融中心4-501室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种三轴陀螺仪,其包括:第一X/Y质量块、第二X/Y质量块、第三X/Y质量块和第四X/Y质量块,其分别设置于中心点A的左右上下四个位置;四个转向梁锚点和四个转向梁,其中每个转向梁与对应的一个转向梁锚点相连,相邻的两个X/Y质量块通过对应的一个转向梁相连;设置于第一X/Y质量块内的第一驱动电极和第一驱动反馈电极;设置于第二X/Y质量块内的第二驱动电极和第二驱动反馈电极;第一Z质量块,其设置于第三X/Y质量块内定义的第一Z空间中,并通过第一Z检测梁与第三X/Y质量块相连;第二Z质量块,其设置于所述第四X/Y质量块内定义的第二Z空间中,并通过第二Z检测梁与所述第四X/Y质量块相连。与现有技术相比,本实用新型的三轴陀螺仪设计合理,结构紧凑,集成度高。