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一种三轴陀螺仪

基本信息

申请号	CN202121119789.4	申请日	-
公开（公告）号	CN216049919U	公开（公告）日	2022-03-15
申请公布号	CN216049919U	申请公布日	2022-03-15
分类号	G01C19/5762（2012.01）I	分类	测量；测试;
发明人	蒋乐跃;丁希聪;凌方舟;姜萍;李光煊	申请（专利权）人	美新半导体（天津）有限公司
代理机构	苏州简理知识产权代理有限公司	代理人	庞聪雅
地址	300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种三轴陀螺仪，其包括：第一X/Y质量块、第二X/Y质量块、第三X/Y质量块和第四X/Y质量块，其分别设置于中心点A的左右上下四个位置；四个转向梁锚点和四个转向梁，其中每个转向梁与对应的一个转向梁锚点相连，相邻的两个X/Y质量块通过对应的一个转向梁相连；设置于第一X/Y质量块内的第一驱动电极和第一驱动反馈电极；设置于第二X/Y质量块内的第二驱动电极和第二驱动反馈电极；第一Z质量块，其设置于第三X/Y质量块内定义的第一Z空间中，并通过第一Z检测梁与第三X/Y质量块相连；第二Z质量块，其设置于所述第四X/Y质量块内定义的第二Z空间中，并通过第二Z检测梁与所述第四X/Y质量块相连。与现有技术相比，本实用新型的三轴陀螺仪设计合理，结构紧凑，集成度高。