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微机电系统惯性器件的惯性测试装置

基本信息

申请号 CN202111177140.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113800467A 公开（公告）日 2021-12-17
申请公布号 CN113800467A 申请公布日 2021-12-17
分类号 B81C99/00（2010.01）I;G01P21/00（2006.01）I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 柯亮;林武;李妍君;金羊华 申请（专利权）人 美新半导体（天津）有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 庞聪雅
地址 300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种微机电系统器件的惯性测试装置，其包括：离心机，其包括离心机转轴和离心机样品台，离心机转轴受控转动；离心机样品台固定于离心机转轴的一端；三轴定位基座，其固定于离心机样品台上；测试板，其用于放置参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件，测试板可拆卸的固定于三轴定位基座的不同面，以实现对放置于所述测试板上的惯性器件在三个轴上运动方向的切换；上位机，其与离心机通信连接，以控制离心机转轴转动；上位机与测试板通信连接，当离心机转轴受控转动时，参考惯性器件和若干待测微机电系统惯性器件输出实际测量的加速度数据至上位机。与现有技术相比，本发明可以对微机电系统惯性器件进行高精度、高效率的的测试。