纳米硅超高速开关管
基本信息
| 申请号 | CN03221563.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2622868Y | 公开（公告）日 | 2004-06-30 |
| 申请公布号 | CN2622868Y | 申请公布日 | 2004-06-30 |
| 分类号 | H01L29/861 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 何宇良;王因生 | 申请（专利权）人 | 江苏省威孚纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利事务所 | 代理人 | 曹祖良 |
| 地址 | 210042江苏省南京市锁金二村21幢404室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 纳米硅超高速开关管，是以低电阻率单晶硅为基片，其上方沉积一层掺杂纳米硅薄膜，构成纳米硅/单晶硅异质结构。该纳米硅超高速开关管具有优越的伏—安特性，击穿电压Vb可达120伏，反向漏电流Ir仅为(nA)量级。具有极好的温度稳定性，可在接近250℃温度范围内使用。反向开关时间tr不大于1.0纳秒(nS)。纳米硅/单晶硅异质结构内的电输运是以量子隧穿机制为主，且服从陡变结电容公式。最后在管芯表面使用ASFPT钝化保护技术对管芯进行钝化保护。 |
