磁悬浮分子泵的断电测试方法、装置及主控设备

基本信息

申请号 CN202111513733.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113915157B 公开(公告)日 2022-02-22
申请公布号 CN113915157B 申请公布日 2022-02-22
分类号 F04D27/00(2006.01)I 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 项海铭;洪申平;沙宏磊;俞天野;王文建;李鲁楠;赵明杨;毕刘新;沈虹 申请(专利权)人 天津飞旋科技股份有限公司
代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 王新哲
地址 300457天津市滨海新区天津开发区第十二大街90号D座
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例提供了一种磁悬浮分子泵的断电测试方法、装置及主控设备,其中方法包括:在真空腔体、及磁悬浮分子泵的真空度达到预设启动压力阈值时,控制磁悬浮分子泵处于预设运转过程;当处于预设运转过程的磁悬浮分子泵的速度达到预设检测转速时,控制磁悬浮分子泵断电;在预设断电时间间隔、或者磁悬浮分子泵转子跌落至保护轴承后,向磁悬浮分子泵供电;在断电过程中及恢复供电后磁悬浮分子泵运行正常及断电故障提示正常时,确定磁悬浮分子泵的断电自保护功能正常。通过所提供的磁悬浮分子泵测试方案,对磁悬浮分子泵的断电自保护功能进行测试,检验断电自保护功能的完整性和合理性,提高断电自保护功能的可靠性。