一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法
基本信息
| 申请号 | CN202210322102.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114686832A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114686832A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/32（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周兵;王一名;刘竹波;李俊峰;马永;王永胜;于盛旺 | 申请（专利权）人 | 太原理工大学 |
| 代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 030024山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种制备减摩耐磨TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜的方法，包括以下步骤：将预处理后的基体烘干，放置于磁控溅射与过滤阴极电弧复合的多激发源等离子体镀膜装置的旋转样品台上；将真空室抽真空并通入氩气，采用离子源对基体表面进行溅射清洗；分别以高纯金属硅和铝作为射频和直流脉冲磁控溅射的溅射靶材，高纯钛和石墨片作为直流磁过滤和脉冲阴极电弧的蒸发靶材，通过调节金属靶溅射功率、石墨靶脉冲频率和脉冲数制备TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜。本发明制备的TiAlN/TiAlCN多层复合薄膜元素含量可调、调制周期易控，具有高硬度、高结合强度、低摩擦系数和良好耐磨性能。 |
