一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置
基本信息
| 申请号 | CN202210175715.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114566449A | 公开（公告）日 | 2022-05-31 |
| 申请公布号 | CN114566449A | 申请公布日 | 2022-05-31 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L29/872（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张兴杰;程万坡;卜正林 | 申请（专利权）人 | 江苏韦达半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京康达联禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 225000江苏省扬州市维扬经济开发区科技园路8号8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于蚀刻装置领域，尤其是一种防污染便于注液的肖特基二极管制造蚀刻装置，针对现有的蚀刻装置在使用时，液体没有进行完全的收集容易造成污染，也不便于对需要蚀刻的二极管进行注液，会造成液体的浪费问题，现提出如下方案，其包括框体，所述框体上转动连接有盖板，所述框体的内壁上固定安装有过滤网，所述盖板的底部滑动连接有对称设置的滑动架，所述滑动架的数量为两个，两个滑动架相互靠近的一侧固定安装有对称设置的轨道杆，本发明通过在盖板上调节喷枪的位置，就可方便喷头喷射液体对过滤网上的二极管进行蚀刻，调整好外壳的位置后还可自动的对外壳的位置进行定位，大大增加了喷枪在使用时的稳定性。 |
