一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010028125.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111020535A | 公开（公告）日 | 2020-04-17 |
| 申请公布号 | CN111020535A | 申请公布日 | 2020-04-17 |
| 分类号 | C23C16/513;C23C16/02 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吕伟桃;梁宸 | 申请（专利权）人 | 佛山市思博睿科技有限公司 |
| 代理机构 | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 | 代理人 | 佛山市思博睿科技有限公司 |
| 地址 | 528051 广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地核心园区内C区7座第五层（1-6轴）厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种细胞计数板等离子化学气相沉积纳米膜的制备方法，包括以下步骤：(1)、前处理，对细胞计数板进行前处理；(2)、等离子气体活化处理，在反应腔内，等离子活化气体对清洁后的细胞计数板进行处理；(3)、静态镀膜，将汽化的镀膜材料通入反应腔，所述镀膜材料为疏水材料或亲水材料，持续通入10s后关闭反应腔进出口，开始静态镀膜过程，维持此静态过程1‑3min，之后再次通入汽化的镀膜材料，重复上述操作3‑5次；(4)、净化，反应腔内破真空；(5)、后处理，将反应腔中的镀有纳米膜的细胞计数板取出，进行密封包装处理。本发明具有膜层质量好、能耗小、生产效率高、节省镀膜材料的优点。 |
