一种多晶硅坩锅平台支撑装置
基本信息
申请号 | CN200810202820.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101503821B | 公开(公告)日 | 2011-06-15 |
申请公布号 | CN101503821B | 申请公布日 | 2011-06-15 |
分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;C01B33/02(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 史珺;宗卫峰 | 申请(专利权)人 | 江苏中强光伏科技有限公司 |
代理机构 | 北京东正专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海普罗新能源有限公司 |
地址 | 201300 上海市南汇区惠南镇宣黄公路2455弄6号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种多晶硅坩埚平台支撑装置,包括石墨平台和炉底,还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱,上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接,上支撑柱的下端与不锈钢平台连接;下支撑柱的上端与不锈钢平台连接,下支撑柱的下端与炉底固接,采用本发明的多晶硅坩埚平台支撑装置,可以消除在加热和冷却时,石墨平台与炉底之间产生的应力;而且在石墨平台发生膨胀或收缩时,可以保证坩埚的中心位置不变,从而不使任何膨胀或冷却影响坩埚内的硅料内部的温度场的对称性,保证铸锭和定向凝固的质量。 |
