一种差分电容式压力传感器及其用以精确测量管道流体压力的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种差分电容式压力传感器及其用以精确测量管道流体压力的方法

基本信息

申请号	CN202111521310.4	申请日	-
公开（公告）号	CN114199421A	公开（公告）日	2022-03-18
申请公布号	CN114199421A	申请公布日	2022-03-18
分类号	G01L1/14（2006.01）I;G01L25/00（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	杨宗凌;韩瑜;彭晓勇	申请（专利权）人	上汽大众汽车有限公司
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	郭蔚
地址	201805上海市嘉定区安亭镇于田路123号
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种差分电容式压力传感器，包括：测量电容，包括基座电极和感应电极；保护电极，环绕测量电容设置，在测量电容和保护电极之间包括密封空气腔；参考电容，设置在测量电容和保护电极之间。本发明还提供了一种利用该压力传感器精确测量管道流体压力的方法，包括：获得测量电容的电容变化量ΔC；获得测量电容的电容值C1和参考电容的电容值C2；设定测量电容的电容值C1和参考电容的电容值C2的差分容值Cin等于测量电容的电容变化量ΔC；将差分电容值Cin转换为电压Vin；对转换电压Vin进行补偿和校准并输出。本发明消除了因两电极之间密封空气介电常数的变化所造成的电容量漂移影响，减小了测量误差，提高了测量精度。