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一种黑膜窄带滤光片及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010440566.1	申请日	-
公开（公告）号	CN111736250A	公开（公告）日	2020-10-02
申请公布号	CN111736250A	申请公布日	2020-10-02
分类号	G02B5/28(2006.01)I	分类	光学;
发明人	陆张武;王迎;柴建龙;李恭剑;徐征驰	申请（专利权）人	浙江晶驰光电科技有限公司
代理机构	浙江千克知识产权代理有限公司	代理人	张海兵
地址	318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
法律状态	-

摘要

一种黑膜窄带滤光片及其制备方法，属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的窄带通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的长波通膜系；长波通膜系包括从下往上逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层；窄带通膜系包括从下往上逐层交替沉积的氧化硅膜层和氢氧化硅/氮氢化硅膜层。方法包括：采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述长波通膜系，并在玻璃基底另一侧沉积上述窄带通膜系。本发明在入射角为0°时，934‑962nm谱段具有高透过率，在350‑901nm谱段、1000‑1100nm谱段截止；入射角为30°时，925‑951nm谱段具有高透过率；同时窄带面在入射角为6°时，反射在400‑700波段平均反射低于5％。