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一种真空溅射镀膜机及其吸灰方法

基本信息

申请号	CN202010507680.1	申请日	-
公开（公告）号	CN111575672A	公开（公告）日	2020-08-25
申请公布号	CN111575672A	申请公布日	2020-08-25
分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I	分类	-
发明人	陆张武;於霄峰;徐勇军;李恭剑	申请（专利权）人	浙江晶驰光电科技有限公司
代理机构	浙江千克知识产权代理有限公司	代理人	张海兵
地址	318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
法律状态	-

摘要

一种真空溅射镀膜机及其吸灰方法，属于镀膜技术领域。真空溅射镀膜机包括镀膜腔室PR‑CH、搬送腔室LL‑CH、开门阀；LL‑CH和PR‑CH处均设有吸灰基板，或者PR‑CH设有吸灰基板；吸灰基板面朝腔室内侧面设有粘灰层。当两个腔室均设有吸灰基板时；方法包括：将LL‑CH抽气至小于压强阈值；对PR‑CH进行充气净化，使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上；在LL‑CH完成抽气和放气后，停止对LL‑CH抽气，打开开门阀，对连通的LL‑CH和PR‑CH抽气一段时间并关闭开门阀；对LL‑CH进行充气净化，使得LL‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。当镀膜腔室设有吸灰基板时，方法包括对PR‑CH进行充气净化，使得PR‑CH内污染物吸附在吸灰基板上。本发明在不开箱清洁的条件下，对腔体内部进行吸灰，吸灰完成后产品表面质量得到提高。