首页/ 浙江晶驰光电科技有限公司/ 专利详情

一种中红外透过滤光片及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010506374.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111736251A 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN111736251A 申请公布日 2020-10-02
分类号 G02B5/28(2006.01)I 分类 光学;
发明人 陆张武;徐征驰;王迎;李恭剑 申请（专利权）人 浙江晶驰光电科技有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 张海兵
地址 318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
法律状态 -

摘要

摘要 一种中红外透过滤光片及其制备方法，属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的窄带通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的长波通膜系；窄带通膜系包括逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层；长波通膜系包括逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层。方法包括：采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述窄带通膜系并在玻璃基底另一侧沉积上述长波通膜系。本发明滤光片可在1300‑1400nm谱段具有高透过率，同时在350‑1280nm谱段、1420‑1800nm谱段截止。