一种近红外透过滤光片及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010507670.8 申请日 -
公开(公告)号 CN111736252A 公开(公告)日 2022-04-01
申请公布号 CN111736252A 申请公布日 2022-04-01
分类号 G02B5/28;G02B5/20;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/30;C23C14/35 分类 光学;
发明人 陆张武;吴婧;王迎;李恭剑;徐征驰 申请(专利权)人 浙江晶驰光电科技有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 张海兵
地址 318001 浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
法律状态 -

摘要

摘要 一种近红外透过滤光片及其制备方法,属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的长波通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的AR膜系;长波通膜系包括逐层交替沉积的高折射率膜层和中折射率膜层,以及为低折射率膜层的最外层;AR膜系包括逐层交替沉积的中折射率膜层和低折射率膜层。方法包括:采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述长波通膜系,并采用电子束蒸发方法在玻璃基底另一侧沉积上述AR膜系。本发明可以满足大角度(0‑52°)光谱特性要求,且在可见光/截止波段具有低反射特性(<4.5%),可以消除杂反光对光学元件光谱特性的影响。