一种球面镜窄带滤光片及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110606474.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113484946A 公开(公告)日 2021-10-08
申请公布号 CN113484946A 申请公布日 2021-10-08
分类号 G02B5/20(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I 分类 光学;
发明人 陆张武;柴建龙;王迎;李恭剑 申请(专利权)人 浙江晶驰光电科技有限公司
代理机构 浙江千克知识产权代理有限公司 代理人 张海兵
地址 318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于镀膜技术领域,具体涉及一种球面镜窄带滤光片及其制备方法,包括球面镜基底、设于球面镜基底一侧的窄带通膜系、设于球面镜基底另一侧的长波通膜系;所述长波通膜系包括从内往外逐层交替沉积的低折射率膜层和高折射率膜层,以及作为低折射率膜层的最外层;所述窄带通膜系包括从内往外逐层交替沉积的高折射率膜层和低折射率膜层。提供了一种947nm透过球面镜窄带滤光片,所述滤光片达到优良技术指标:在入射角为0°时,900‑930nm光谱波段具有高透过率,887nm&950nm处的透过率小于10%,890nm&940nm处的透过率小于50%,在200nm‑870nm、965‑1050nm光谱波段截止,截止区域内最大透过率<1%,入射角为0°和22°是曲线偏移小于8nm的球面镜窄带滤光片。