一种用于溅射镀膜机的可翻面镀膜治具
基本信息
| 申请号 | CN202110606472.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113481482A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113481482A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陆张武;黄敏;李恭剑;王迎 | 申请（专利权）人 | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张海兵 |
| 地址 | 318001浙江省台州市椒江区开发大道东段2198号一期联合厂房3楼-A | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学镀膜技术领域，具体涉及一种镀膜治具，包括用来夹持晶片的治具；治具包含治具上板和治具下板，所述治具上板与所述治具下板可拆卸连接；所述治具下板开设有第一通孔，所述治具上板开设有与所述第一通孔相对应的第二通孔；治具底板，所述治具底板分别与所述治具上板和所述治具下板可拆卸连接。本发明通过治具上板和治具下板的配合来夹持晶片，在对晶片的一侧镀膜完毕后，无需将晶片取出，只要将治具进行翻转与治具底板重新连接即可，方便快捷，大大提高了晶片的镀膜效率，减少了镀膜过程中晶片的损耗。此外，还解决了现有技术中翘曲的问题，以及翘曲导致的碎片问题。 |
