一种MEMS恒温差热膜式风速计
基本信息
| 申请号 | CN202020219146.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211348306U | 公开（公告）日 | 2020-08-25 |
| 申请公布号 | CN211348306U | 申请公布日 | 2020-08-25 |
| 分类号 | G01P5/12(2006.01)I;G01K7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 祁安俊;刘钧;包坤;任海富 | 申请（专利权）人 | 华云升达（北京）气象科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京崇智专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 华云升达（北京）气象科技有限责任公司 |
| 地址 | 102299北京市昌平区科技园振兴路2号院1号楼1至8层101内4层401-415 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种MEMS恒温差热膜式风速计，包括：差分放大电路，具有加热电阻Rj，加热电阻Rj的阻值随温度变化而变化；恒温差控制电路，与差分放大电路相连接，恒温差控制电路具有两个测温电阻Rc1、Rc2，测温电阻Rc1和测温电阻Rc2对称设置在加热电阻Rj的两端；采集电路，与恒温差控制电路相连接，差分放大电路能够将风速信号转化为电压信号；电源电路，分别与差分放大电路、恒温差控制电路和采集电路相连接。在本实用新型的技术方案中，由于采用了MEMS工艺制造热膜及温度补偿部分，可以很好的保证了这三种电阻的温度敏感性一致，且其内部加入了一些绝缘薄膜，使得加热电阻上的热量流失较少，从而用较小的功率就能加热到指定温度点。 |
