阻抗匹配器
基本信息
| 申请号 | CN202022920239.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214177278U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214177278U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | H03H11/28（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 鲁力;沈爱国 | 申请（专利权）人 | 武汉凡谷电子技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 秦曼妮 |
| 地址 | 430020湖北省武汉市江夏区光谷大道藏龙岛九凤街5号凡谷电子工业园4号楼2楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种阻抗匹配器，所述阻抗匹配器通过传输线连接在射频信号源与等离子腔室之间，该阻抗匹配器包括幅度差和相位差采样单元、数据处理单元、电机驱动及反馈单元以及阻抗匹配执行单元；幅度差和相位差采样单元用于对射频信号源输入信号的电压与电流的相位差及幅度差进行采样；数据处理单元用于根据采样信号生成驱动控制信号；电机驱动及反馈单元包括电机驱动板，阻抗匹配执行单元包括电机和阻抗匹配网络，电机驱动板与电机连接，电机驱动板用于根据驱动控制信号生成电机驱动信号并发送给电机，电机用于调整阻抗匹配网络，实现等离子腔室与传输线的阻抗匹配。本实用新型降低了采样电路的复杂性，降低了插入损耗，采样速度更快。 |
