一种晶棒数控一体式滚圆机
基本信息
| 申请号 | CN202220456256.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216967194U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216967194U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | B24B5/04（2006.01）I;B24B5/50（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/04（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 王洁;奚衍罡;张宇;杨青 | 申请（专利权）人 | 南通罡丰科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000江苏省南通市高新区金桥西路一号聚恒工业园12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及晶圆片加工技术领域，一种晶棒数控一体式滚圆机，包括工作台、头架、尾架和砂轮机构，头架和尾架安装在工作台的顶面，砂轮机构安装在工作台的背板上，且工作台上滑动安装有防护罩；头架内安装减速电机，其中减速电机的输出轴上套装有晶棒主动固定架，尾架上安装有对应的液压伸缩杆，且液压伸缩杆远离尾架的一端设有与头架对应的晶棒从动固定架；头架和尾架的底面上开设有安装槽，其中安装槽内安装有驱动轮和控制电箱。本申请降低了晶棒加工过程的污染以及提高了其安全性能。 |
