一种带有集尘装置的碳化硅双面抛光机
基本信息
| 申请号 | CN202220394740.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216967383U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216967383U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/00（2006.01）I;B24B55/06（2006.01）I;B24B55/12（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 杨青 | 申请（专利权）人 | 南通罡丰科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000江苏省南通市高新区金桥西路一号聚恒工业园12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及碳化硅晶片加工技术领域，一种带有集尘装置的碳化硅双面抛光机，包括底座、承载台、安装架和限位组件，承载台安装在底座上，安装架安装在承载台上，且安装架上安装有对称分布的打磨组件，打磨组件包括支撑架，支撑架上安装有电机，其中电机的输出轴端部安装有爪型夹持机构，爪型夹持机构中安装有抛光头；限位组件圆周分布在抛光头的四周，包括抵接块、伸缩机构和集尘机构，其中伸缩机构的一端固定在安装架上，另一端与抵接块转动连接，集尘机构包括设置在抵接块端面的集尘口、集尘箱以及连接集尘口和集尘箱的集尘管道，集尘箱中安装有负压装置。本申请能够有效去除抛光过程中产生的粉尘碎屑，提高后续碳化硅晶片的抛光质量。 |
