一种压力芯片加工接送料装置

基本信息

申请号 CN202111369586.5 申请日 -
公开(公告)号 CN113808984B 公开(公告)日 2022-03-18
申请公布号 CN113808984B 申请公布日 2022-03-18
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H05F3/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王小平;曹万;王红明;王晓燕;张超军;梁世豪 申请(专利权)人 武汉飞恩微电子有限公司
代理机构 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 代理人 杨建军
地址 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道818号高科医疗器械园B区12号楼3层2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种压力芯片加工接送料装置。其技术方案包括:底座、收集箱、码垛组件和离子风机组件,底座的顶部两侧安装有侧板,侧板的内侧安装有两组传动辊,底座的一侧安装有收集箱,收集箱的内部一侧安装有码垛组件,码垛组件内安装有齿轮盘,齿轮盘的一侧通过钢带安装有螺纹杆,螺纹杆的一侧安装有滑轨架,滑轨架的正面安装有直线电机,直线电机的一侧安装有皮带。本发明通过在直线电机的一侧安装有皮带,能够通过皮带引导芯片缓慢地滑落,再通过液压伸缩杆对芯片进行逐一的码垛,可以增加芯片码垛的稳定性,使得芯片在码垛时更加整齐,并且可以避免芯片码垛时受到撞击而损坏。