一种平面大位移压电微振动台专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种平面大位移压电微振动台

基本信息

申请号	CN202011398942.1	申请日	-
公开（公告）号	CN112577684A	公开（公告）日	2021-03-30
申请公布号	CN112577684A	申请公布日	2021-03-30
分类号	G01M7/02(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	秦风	申请（专利权）人	成都度控科技有限公司
代理机构	成都聚蓉众享知识产权代理有限公司	代理人	张辉
地址	610000四川省成都市高新区合作路89号9幢1单元20层2009号
法律状态	-

摘要

本发明提供一种平面大位移压电微振动台，通过采用多段折叠、弯曲支撑梁结构，解决了传统直梁或两段支撑梁振动台平面内位移小的问题，且微振动台在平面内位移可以达到百微米量级，同时还能够实现面内旋转位移。每根支撑梁经过多次折叠、弯曲，形成类似弹簧结构的支撑梁，有效降低支撑梁在平面内的刚度，使微振动台平面内行程提升至数百微米量级。本发明由多根多段折叠式振动支撑梁配合形成，且基本的支撑梁结构可具有多种形式，例如可以包含180°折叠型结构和90°拐角型结构。其中，180°折叠型结构可以用于减小微振动台刚度，从而提高平面内位移；而90°拐角型结构可以用于调整位移方向，约束非轴向位移，从而提高微振动台工作时的线性度。