一种直线型压电膜微驱动器
基本信息
| 申请号 | CN202011349260.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112769350A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112769350A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | H02N2/08(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;H02N2/06(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 秦风 | 申请（专利权）人 | 成都度控科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张辉 |
| 地址 | 610000四川省成都市高新区合作路89号9幢1单元20层2009号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种直线型压电膜微驱动器，通过薄膜沉积工艺在基底正表面依次沉积下电极、压电膜材料和上电极形成多层结构；利用刻蚀工艺对多层结构中的上电极、压电膜材料层和下电极进行光刻及图形化，形成多根形状、尺寸相同的条形驱动单元；每根条形驱动单元均具备上电极、压电膜材料层和下电极；采用深刻蚀工艺对基底背部加深槽反应离子刻蚀和/或湿法腐蚀，将基底的厚度减薄至预设厚度以下，制备出背部腔体以及形成驱动振膜，获得直线型压电膜微驱动器。本发明能有效降低器件整体厚度，可以与标准MEMS产线完全兼容，具备批量化生产能力，并且能解决压电直线型电机的小型化、薄型化和批量化问题。 |
