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一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法

基本信息

申请号	CN202110492057.8	申请日	-
公开（公告）号	CN113201345A	公开（公告）日	2021-08-03
申请公布号	CN113201345A	申请公布日	2021-08-03
分类号	C09K13/06（2006.01）I	分类	染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用;
发明人	许磊;黄德新;何烨谦	申请（专利权）人	合肥中聚和成电子材料有限公司
代理机构	安徽申策知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	程艳梅
地址	231602安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园长松路东
法律状态	-

摘要

本发明涉及湿电子化学品技术领域，且公开了一种用于TFT‑LCD显示屏用ITO蚀刻液，包括以下按重量百分比计的组分：硫酸10％‑20％，添加剂1％‑5％，表面活性剂0.05％‑0.5％，消泡剂0.01％‑0.1％，余量水，所述添加剂为无机盐和有机物的混合物；本发明所公开的蚀刻液以硫酸为主要成分，生产工艺简单，酸浓度易于控制及在线检测；增加了表面活性剂具有表面张力低、无浊点、湿润力强，有效降低ITO蚀刻液的表面张力，蚀刻过程中速率适中；消泡剂能消除蚀刻过程中表面活性剂产生的泡沫，满足ITO膜蚀刻高精度加工要求，对光阻无破坏作用，对蚀刻线条保护好，图形完整；同时采用的无机盐可以调控蚀刻后ITO斜面坡度，以更好满足客户需求。