还原炉底盘结构

基本信息

申请号 CN201922284771.9 申请日 -
公开(公告)号 CN212504015U 公开(公告)日 2021-02-09
申请公布号 CN212504015U 申请公布日 2021-02-09
分类号 C01B33/021(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 彭建涛;汤晓英;薛小龙;茅陆荣;陈宏伟;杜彦楠 申请(专利权)人 上海森松新能源设备有限公司
代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司 代理人 刘燕武
地址 200062上海市普陀区金沙江路915号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及还原炉底盘结构,包括底盘主体(1)、从内到外依次布置在底盘主体(1)上的若干组硅棒(2),以及布置在底盘主体(1)上的进气口(3)和出气口(4),每组硅棒(2)由多对硅棒(2)围成一个同心圆,任意相邻两组硅棒之间的间距相等,并记为SA,同一组硅棒(2)中,任意一对硅棒(2)的两个硅棒(2)的间距记为SB,分别处于不同对硅棒(2)的任意相邻两个硅棒(2)的间距记为SC,且SB不等于SC。与现有技术相比,本实用新型通过控制同心圆间距相等,使得层间硅棒相互辐射距离相近,从而使得每根硅棒周围相互辐射热相互接近,采用进出气均匀分布的方式,保证温度场和流场的均匀,解决了大炉型的布棒尺寸大的问题。