一种坩埚轴及晶体生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202022625660.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214400805U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214400805U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 邱萍;肖宏海;周劲松;周浩 | 申请（专利权）人 | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 胡彬 |
| 地址 | 201323上海市浦东新区祝桥镇空港工业区金闻路29号-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体材料制备领域，公开了一种坩埚轴及晶体生长设备，坩埚轴包括第一轴分段、第二轴分段和第三轴分段，第二轴分段与所述第三轴分段可拆卸连接，和/或，第一轴分段与第二轴分段可拆卸连接，第一轴分段用于连接坩埚，第二轴分段由隔热材料制成。高温长晶炉工作的过程中，隔热材料制成的第二轴分段会降低由第一轴分段通过第二轴分段传递至第三轴分段的温度，同时减少第三轴分段对坩埚长晶温度分布的影响。在需要更换坩埚时，方便将第二轴分段与第一轴分段拆开或将第二轴分段与第三轴分段拆开以更换坩埚，解决了因坩埚轴和坩埚材料不同造成高温使坩埚轴和坩埚不便于拆卸的问题。 |
