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一种用于蓝宝石切割的金刚线切割液的制备方法

基本信息

申请号	CN202010892485.5	申请日	-
公开（公告）号	CN111909772A	公开（公告）日	2020-11-10
申请公布号	CN111909772A	申请公布日	2020-11-10
分类号	C10M173/02(2006.01)I	分类	石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤;
发明人	祁有丽	申请（专利权）人	中科孚迪科技发展有限公司
代理机构	长沙大珂知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	中科孚迪科技发展有限公司
地址	410500湖南省岳阳市湘阴县金龙新区卓达金谷创业园12号
法律状态	-

摘要

本发明公开一种用于蓝宝石切割的金刚线切割液的制备方法，涉及半导体硬脆材料加工技术领域。本发明公开的用于蓝宝石切割的金刚线切割液的制备方法，具体步骤为：往调和釜中加入去离子水，开启搅拌，然后依次加入络合剂、碱保持剂、水性防锈剂，搅拌升温至40℃，溶解至透明溶液；往透明溶液中加入水性润滑剂、水性渗透剂、耦合剂、消泡剂，搅拌至体系透明，即得所需金刚线切割液。本发明提供的用于蓝宝石切割的金刚线切割液，适用于金刚线多线切割工艺，使用时稀释倍率为20‑30倍，使用过程中具有良好的润滑性，冷却、分散性，清洗性，防锈性以及泡沫稳定性，切片良率达到99％，可以有效降低蓝宝石晶片表面的线痕，TTV值以及崩边情况。