一种用于蓝宝石切割的金刚线切割液
基本信息
| 申请号 | CN202010892478.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111979033A | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN111979033A | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | C10M173/02(2006.01)I;C10N40/22(2006.01)N | 分类 | 石油、煤气及炼焦工业；含一氧化碳的工业气体；燃料；润滑剂；泥煤; |
| 发明人 | 祁有丽 | 申请（专利权）人 | 中科孚迪科技发展有限公司 |
| 代理机构 | 长沙大珂知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中科孚迪科技发展有限公司 |
| 地址 | 410500湖南省岳阳市湘阴县金龙新区卓达金谷创业园12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种用于蓝宝石切割的金刚线切割液，涉及半导体硬脆材料加工技术领域。本发明公开的用于蓝宝石切割的金刚线切割液是由以下重量百分比的组分组成：去离子水35～55％，水溶性润滑剂10～20％，润湿渗透剂15～20％，水溶性防锈剂5～10％，耦合剂3～6％，碱值保持剂10～15％，络合剂3～5％以及消泡剂0.5～1.5％。本发明提供的用于蓝宝石切割的金刚线切割液，适用于金刚线多线切割工艺，使用时稀释倍率为20‑30倍，使用过程中具有良好的润滑性，冷却、分散性，清洗性，防锈性以及泡沫稳定性，切片良率达到99％，可以有效降低蓝宝石晶片表面的线痕，TTV值以及崩边情况。 |
