一种用于硬脆材料晶片的清洗剂

基本信息

申请号 CN202010900911.5 申请日 -
公开(公告)号 CN111909797A 公开(公告)日 2020-11-10
申请公布号 CN111909797A 申请公布日 2020-11-10
分类号 C11D1/72(2006.01)I 分类 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛;
发明人 祁有丽;张国亮 申请(专利权)人 中科孚迪科技发展有限公司
代理机构 长沙大珂知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 中科孚迪科技发展有限公司
地址 410500湖南省岳阳市湘阴县金龙新区卓达金谷创业园12号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种用于硬脆材料晶片的清洗剂,涉及电子工业清洗技术领域。本发明公开的用于硬脆材料晶片的清洗剂,由以下重量百分比的组分组成:无机碱5‑10%,有机碱5‑10%,表面活性剂5‑10%,助溶剂3‑5%,增溶剂1‑5%,螯合剂1‑5%,抗再沉剂2‑5%,消泡剂0.5‑1%,余量为去离子水。本发明提供的用于硬脆材料晶片的清洗剂与污染物相容性好,操作安全,性能稳定,清洗效率高,使用周期长,能有效提高加工效率。本发明配方中所用到的添加剂均符合电子级别清洗要求,符合国家环保法规所规定的废水配方标准不污染水质和土壤,绿色环保。