一种飞点形成装置及设计方法

基本信息

申请号 CN201510072391.2 申请日 -
公开(公告)号 CN105987920B 公开(公告)日 2019-10-08
申请公布号 CN105987920B 申请公布日 2019-10-08
分类号 G01N23/04;G01V5/00 分类 测量;测试;
发明人 王彦华;曹艳锋;王少锋;刘铮 申请(专利权)人 中泰元科股份有限公司
代理机构 北京信诺创成知识产权代理有限公司 代理人 北京君和信达科技有限公司
地址 100011 北京市西城区黄寺大街26号院4号楼308(德胜园区)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种飞点形成装置,包括辐射源和屏蔽体,屏蔽体为中空圆柱体,屏蔽体侧壁上具有成对设置的螺旋槽,每对螺旋槽包括一个入射槽和一个出射槽,其特征在于,具有两对螺旋槽,其中,第一入射槽的最高点和最低点分别对应辐射源射线束的最大上张角和最大下张角,第二入射槽的最高点和最低点也分别对应辐射源射线束的最大上张角和最大下张角;在屏蔽体圆周方向上,第一入射槽和第二入射槽共同占0‑180°的范围;第一出射槽和第二出射槽分别与第一入射槽和第二入射槽相对应。本发明还公开了一种飞点形成装置设计方法。利用本发明可提高飞点形成装置的扫描速度。