一种甩胶腔体结构
基本信息
| 申请号 | CN202022126686.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213792317U | 公开（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申请公布号 | CN213792317U | 申请公布日 | 2021-07-27 |
| 分类号 | B05B12/36（2018.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 吴涛 | 申请（专利权）人 | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | 赵海波 |
| 地址 | 214400江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种甩胶腔体结构，它包括腔体（1），所述腔体（1）内设置有转轴（2），所述转轴（2）顶部设置有托盘（3），所述腔体（1）内壁上均匀设置有多个挡板（4）。本实用新型一种甩胶腔体结构，它能够解决传统结构腔体在甩胶过程中出现的因胶体反溅到晶圆边缘导致胶层偏厚以及胶体颗粒残留的问题。 |
