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一种圆晶加工用清洗装置

基本信息

申请号 CN202023074058.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214336683U 公开（公告）日 2021-10-01
申请公布号 CN214336683U 申请公布日 2021-10-01
分类号 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 廖红伟;沈国平;刘洋博 申请（专利权）人 九江正启微电子有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 叶似锦
地址 332500江西省九江市湖口县双钟镇三里大道上埠路56号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种圆晶加工用清洗装置，包括箱架，所述的箱架内部上端设有导柱，所述的导柱内壁设有导槽，所述的导槽连接有弹簧以及与弹簧连接的连接柱，所述的导柱设有限位片，所述的连接柱上设有与限位片配合使用的卡槽，所述的连接柱的端部设有清洗台，所述的箱架底部中间设有支柱，所述的支柱上端设有电机以及通过电机带动运转的操作台，所述的箱架底部设有废液箱，所述的箱架内部两侧分别设有暖风喷口，所述的箱架底部设有与暖风喷口连接的暖风机，本实用新型与现有技术相比的优点在于：防止清洗液溅射到设备以及周边污染环境，无需在清洗圆晶后对清洗装置进行清洗，较为方便，省去了单独进行的干燥的流程，提高圆晶清洗的加工效率。