一种膜厚测试仪安全存放装置
基本信息
申请号 | CN202023069080.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214121063U | 公开(公告)日 | 2021-09-03 |
申请公布号 | CN214121063U | 申请公布日 | 2021-09-03 |
分类号 | G01B7/06(2006.01)I;G01D11/24(2006.01)I;G01D11/30(2006.01)I;G01D11/10(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 廖红伟;沈国平;刘洋博 | 申请(专利权)人 | 九江正启微电子有限公司 |
代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林燕 |
地址 | 332500江西省九江市湖口县双钟镇三里大道上埠路56号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种膜厚测试仪安全存放装置,包括减震装置、存放仓、盖板和提拉组件,所述存放仓为上端开口的中空腔体结构设置,所述减震装置对称设于存放仓下两端,所述盖板设于存放仓顶部,所述提拉组件设于盖板与存放仓之间连接处。所述减震装置包括侧固定块、弹簧仓、减震弹簧、侧弹簧、衔接板、移动杆和底板,所述侧固定块对称设于存放仓下,所述弹簧仓设于侧固定块内上端。通过减震装置减少震动对膜厚测试仪的影响,保证正常工作的膜厚测试仪安全存放装置。 |
