一种膜厚测试仪安全存放装置

基本信息

申请号 CN202023069080.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214121063U 公开(公告)日 2021-09-03
申请公布号 CN214121063U 申请公布日 2021-09-03
分类号 G01B7/06(2006.01)I;G01D11/24(2006.01)I;G01D11/30(2006.01)I;G01D11/10(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 廖红伟;沈国平;刘洋博 申请(专利权)人 九江正启微电子有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 林燕
地址 332500江西省九江市湖口县双钟镇三里大道上埠路56号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种膜厚测试仪安全存放装置,包括减震装置、存放仓、盖板和提拉组件,所述存放仓为上端开口的中空腔体结构设置,所述减震装置对称设于存放仓下两端,所述盖板设于存放仓顶部,所述提拉组件设于盖板与存放仓之间连接处。所述减震装置包括侧固定块、弹簧仓、减震弹簧、侧弹簧、衔接板、移动杆和底板,所述侧固定块对称设于存放仓下,所述弹簧仓设于侧固定块内上端。通过减震装置减少震动对膜厚测试仪的影响,保证正常工作的膜厚测试仪安全存放装置。