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一种圆晶加工用烘干装置

基本信息

申请号 CN202023069104.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214120646U 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN214120646U 申请公布日 2021-09-03
分类号 F26B11/18（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I 分类 干燥;
发明人 廖红伟;沈国平;刘洋博 申请（专利权）人 九江正启微电子有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 林燕
地址 332500江西省九江市湖口县双钟镇三里大道上埠路56号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种圆晶加工用烘干装置，包括箱体，箱体上铰接有侧开门，箱体内设有风柱，风柱的两侧均设有上下连接在一起的夹持装置，风柱的两侧均开有出风口，箱体上端设有驱动夹持装置转动的电机以及和风柱接通的暖风机，夹持装置包括上下连接在一起的连接板，连接板的上端设有上夹板，下端开有导槽，导槽中滑动设有导板，导板的下端和导槽底面之间设有弹簧，导板的一侧设有和上夹板相配合的下夹板，上夹板和下夹板相对布置的面上均开有不少于一个和圆晶配合的放置槽。本实用新型与现有技术相比的优点在于：无需人工翻转圆晶进行烘干，烘干速度较快、效率较高，同时在烘干的过程中被固定，放置较为稳定，不容易损坏。