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一种基于热电堆的加速度传感器

基本信息

申请号 CN201911353292.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111060715B 公开（公告）日 2022-02-08
申请公布号 CN111060715B 申请公布日 2022-02-08
分类号 G01P15/03（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 梁晓波;高云端;刘冠华;黄漫国;李欣 申请（专利权）人 北京瑞赛长城航空测控技术有限公司
代理机构 中国航空专利中心 代理人 仉宇
地址 100022北京市朝阳区建国路126号瑞赛大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种基于热电堆的加速度传感器，该加速度传感器包括封装体、键合层、基板、左热电堆、右热电堆和发热单元；所述发热单元产生热量，其热量会通过质量块与发热单元之间的空气传递给左右热电堆，当有加速度时，两个热电堆感受到的热量为稳态，当存在加速度时，质量块的移动会导致质量块与发热单元之间的间隙发生变化或质量块与左右热电堆的间隙发生变化，从而影响间隙空间中的空气量，进而导致热量传递的变化，使得左右热电堆的热结果发生变化，通过所述变化计算、推算或映射获得加速度。本发明结构简单，成本低，易于加工，原理简单，体积小，集成性好，灵敏度高，不易受到电磁环境的干扰，可采用微加工工艺进行大批量生产。