光栅尺光电传感器

基本信息

申请号 CN201710937870.5 申请日 -
公开(公告)号 CN107560546A 公开(公告)日 2018-01-09
申请公布号 CN107560546A 申请公布日 2018-01-09
分类号 G01B11/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 温琚玲 申请(专利权)人 长光(沧州)光栅传感技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 061000 河北省沧州市运河区高新技术开发区运河园区内渤海路南侧车间三层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种光栅尺光电传感器,其包括:光敏感单元阵列、读取电路,光敏感单元阵列包括多个光敏感单元,每个光敏感单元上覆盖有栅状金属层。本发明的优点在于将光栅尺的指示光栅以栅状金属层的方式直接集成在光电传感器上,能够节约光栅尺制造成本,提高生产效率,提高指示光栅制造精度。