高增益的紫外雪崩探测器
基本信息
| 申请号 | CN201710453903.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107275435A | 公开（公告）日 | 2017-10-20 |
| 申请公布号 | CN107275435A | 申请公布日 | 2017-10-20 |
| 分类号 | H01L31/107(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张翼;陈勘;杨路华;李培咸;廉大桢 | 申请（专利权）人 | 西安中为光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京鼎宏元正知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 西安中为光电科技有限公司 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市电子城电子西街3号201号厂房二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高增益的紫外雪崩探测器，包括蓝宝石衬底，蓝宝石衬底上生长有外延层，i型AlyGa1‑yN吸收层上设置有N型欧姆接触电极和ITO分离层，ITO分离层上设置有SiO2倍增层，SiO2倍增层设置有Ni/Au肖特基接触层，Ni/Au肖特基接触层上还设置有P型欧姆接触电极；本发明的有益效果是：通过一种全新的高增益的紫外雪崩探测器制作方法，经过精确的膜层结构设计，实现器件击穿电压、响应度、增益因子、暗电流等参数的可调可控，还具有基础的外延片可根据不同的设计指标重复使用的特点。 |
