一种新型单晶炉副室自动卡接装置
基本信息
申请号 | CN202022475085.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213476151U | 公开(公告)日 | 2021-06-18 |
申请公布号 | CN213476151U | 申请公布日 | 2021-06-18 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 华焱 | 申请(专利权)人 | 无锡松瓷机电有限公司 |
代理机构 | 南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 陈烨 |
地址 | 213200江苏省常州市金坛区薛埠镇工业园区南环路3号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型单晶炉副室自动卡接装置,包括副室,所述副室底部的法兰边设置通孔,并且上平面连接活动盘,所述法兰边的通孔相对应活动盘处设置葫芦孔,所述活动盘固定L形连接块的一端,所述连接块另一端连接气缸伸缩端,所述气缸固定端安装于副室炉壁上。本实用新型通过活动盘将副室与旋板阀可选择连接与脱离,并且通过气缸自动控制,大大简化了副室与旋板阀的连接结构,提高了连接和脱离效率。 |
