一种小规模生产超高纯氢气的方法
基本信息
| 申请号 | CN201410742418.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105731377A | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN105731377A | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | C01B3/50(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 徐恒泳;孟繁琼;方传艳;唐春华;林定标 | 申请（专利权）人 | 大连华海制氢设备有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 马驰 |
| 地址 | 116085辽宁省大连市高新技术园区黄浦路911号中科院大连高新技术转化中心大厦602室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种小规模生产超高纯氢气的方法，采用高透氢选择性的金属钯管氢气纯化器，将99.999％的高纯氢气提纯成99.999999％的超高纯氢，高纯氢气依次通过过滤器和换热器后进入金属钯管氢气纯化器，获得纯度大于99.999999％的超高纯氢气，其中杂质含量小于5ppb，同时由于金属钯管的高氢气透量，氢气回收率大于90％，产品气产量大于30m3/h。利用该方法生产的超高纯氢气可广泛应用于电子信息、半导体、LED、多晶硅光伏发电等战略性新兴产业。 |
