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一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构

基本信息

申请号 CN201210587579.7 申请日 -
公开（公告）号 CN103046135B 公开（公告）日 2015-08-12
申请公布号 CN103046135B 申请公布日 2015-08-12
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;吴智洪;刘自强 申请（专利权）人 上海昀丰新能源科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 苏州恒嘉晶体材料有限公司
地址 215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区晨丰公路357号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构，包括侧面加热器和底部加热器；其中侧面加热器采用两个沿轴向通过绝缘件紧固连接的铜环作为电极，分别为第一铜电极和第二铜电极，在这两个铜电极上分别沿周向安装有多个U型钨棒形成筒状结构作为发热体，且U型钨棒在第一铜电极和第二铜电极上分别按轴对称排列方式固定；底部加热器采用双螺旋钨丝根据热场需要构建同心发热环，双螺旋钨丝通过双螺旋连接螺丝连接于电极板上，底部通过U型支撑钨棒支撑。本发明所提供的大规格尺寸蓝宝石炉双加热器结构可以为大规格尺寸蓝宝石晶体的生长创造有利的热场条件，同时有效降低了蓝宝石炉的生产成本。