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一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构

基本信息

申请号 CN201210587581.4 申请日 -
公开（公告）号 CN103046136B 公开（公告）日 2016-03-09
申请公布号 CN103046136B 申请公布日 2016-03-09
分类号 C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 徐永亮;吴智洪;刘自强 申请（专利权）人 上海昀丰新能源科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 苏州恒嘉晶体材料有限公司
地址 215600 江苏省苏州市张家港市经济技术开发区晨丰公路357号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为发热元，并通过支撑结构支撑固定。与现有技术中钨制网带提供的均匀热场结构相比，本发明实施例提供的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构，采用双螺旋钨丝作为底部加热器的发热元使用，其优势是较小的长度能提供比较大的电阻值，同时具有相当的柔韧度，并能在较小的空间能进行弯曲，使其能够根据热场需要加工成适应的形状，产生比较理想的径向和轴向温度梯度，为大规格尺寸蓝宝石晶体生长创造有利的热场条件；另一方面，与钨制网带相比有相当大的价格优势，更重要的是加工制作容易。