一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构
基本信息
申请号 | CN201220742988.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN203049095U | 公开(公告)日 | 2013-07-10 |
申请公布号 | CN203049095U | 申请公布日 | 2013-07-10 |
分类号 | C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 徐永亮;吴智洪;刘自强 | 申请(专利权)人 | 上海昀丰新能源科技有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 上海昀丰新能源科技有限公司;苏州恒嘉晶体材料有限公司 |
地址 | 201315 上海市浦东新区康桥镇康意路499号2幢A座5545室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,采用双螺旋钨丝作为发热元,并通过支撑结构支撑固定。与现有技术中钨制网带提供的均匀热场结构相比,本实用新型实施例提供的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,采用双螺旋钨丝作为底部加热器的发热元使用,其优势是较小的长度能提供比较大的电阻值,同时具有相当的柔韧度,并能在较小的空间能进行弯曲,使其能够根据热场需要加工成适应的形状,产生比较理想的径向和轴向温度梯度,为大规格尺寸蓝宝石晶体生长创造有利的热场条件;另一方面,与钨制网带相比有相当大的价格优势,更重要的是加工制作容易。 |
