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一种基于MEMS技术的压力开关

基本信息

申请号 CN201010237300.3 申请日 -
公开（公告）号 CN101964272A 公开（公告）日 2011-02-02
申请公布号 CN101964272A 申请公布日 2011-02-02
分类号 H01H35/34(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王善慈;张谦;张宝元;蔺广恒;王焱秋;蔡轩然 申请（专利权）人 南京曼加里电子科技有限公司
代理机构 无锡市大为专利商标事务所 代理人 殷红梅
地址 214071 江苏省无锡市滨湖区百合花园A31幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种基于MEMS技术的压力开关。其包括底座及管帽；管帽上设有引压口；底座上设有凹槽，底座的另一端设有电缆孔；电缆孔内设有电缆；凹槽内设有转接组件，转接组件上设有敏感组件；转接组件包括支撑体，支撑体上设有下导流孔及导电柱；敏感组件包括固支体及硅片；硅片上设有金属层，硅片的下部凹设有弹性槽，弹性槽间形成凸台，凸台上设有上电极；固支体上设有导流孔；固支体两端的表面及上导流孔的内壁形成下电极；下电极及金属层分别通过内引线与支撑体上对应的导电柱电连接；导电柱分别与连接导线电连接。本发明结构简单，一致性好、成本低廉、结构简单、易于和后续电路集成在一起，进行信号调理、转换及网络化；适用范围广。