一种硅烷精确出料的控制系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202011518525.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112657427A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112657427A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | B01J4/00 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 陶刚义;张鑫 | 申请（专利权）人 | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海荣 |
| 地址 | 010400 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅烷精确出料的控制系统及方法，系统包括硅烷塔，硅烷塔具有进料口和出料口；还包括纯度在线监测系统、出料流量反馈系统和出料流量控制系统；纯度在线监测系统安装在硅烷塔内部顶端，用于监测硅烷纯度，以判断是否出料；出料流量反馈系统用于对进料口的硅烷流量和温度进行检测，以判断出料量的多少；出料流量控制系统与出料口连接，且用于根据出料流量反馈系统反馈的信息控制并监测出料流量；出料流量控制系统连接有硅烷收集罐。本发明通过纯度在线监测系统、出料流量反馈系统和出料流量控制系统的有效配合，实现了硅烷出料过程全自动化运行，避免了员工误操作导致采出硅烷纯度不够造成直接的经济损失。 |
