一种用于电子高纯气体的离心压缩方法
基本信息
| 申请号 | CN202110511157.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113107873A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113107873A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | F04D17/12（2006.01）I;F04D29/10（2006.01）I;F04D29/00（2006.01）I;F04D29/62（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 杜晓辉;陶刚义;陈强 | 申请（专利权）人 | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海荣 |
| 地址 | 010400内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，电子用高纯工艺气体经过压缩机主体的进气口进入压缩机主体内部，经过转子的高速旋转逐级经过级间隔板进入下一级叶轮通道逐级增压，并经由排气口排出；转子两端对称依次向外侧套设有一级轴封、二级轴封、三级轴封和隔离轴封；转子两端的两个一级轴封通过平衡管连通；在压缩机主体工作时，一级轴封内通入超高纯混合气体，二级轴封内通入高纯气体，三级轴封内通入混合气体，隔离轴封内通过惰性气体；一级轴封的通气压力大于二级轴封的通气压力大于三级轴封的通气压力大于隔离轴封的通气压力。本发明解决了洁净问题导致的无法进行超高纯气体的洁净压缩问题。 |
