一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统和方法

基本信息

申请号 CN202011623066.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112758936A 公开(公告)日 2021-05-07
申请公布号 CN112758936A 申请公布日 2021-05-07
分类号 C01B33/107(2006.01)I;B01D3/14(2006.01)I;B01D3/32(2006.01)I;B01J19/00(2006.01)I;C01B33/04(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 陶刚义;汪俊 申请(专利权)人 内蒙古兴洋科技股份有限公司
代理机构 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 崔自京
地址 010400内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统,包括:氢化系统、歧化塔一、歧化塔二、硅烷分离提纯装置、一氯硅烷分离提纯装置、冷凝器一和冷凝器二;其中,冷凝器一固定在歧化塔一的顶端,并与歧化塔一连通;冷凝器二固定在歧化塔二的顶端,并与歧化塔二连通;氢化系统的顶端出口与歧化塔一的入口连通;歧化塔一的顶端出口与歧化塔二的入口连通,底端出口与氢化系统的入口连通;歧化塔二的底端出口与歧化塔一的入口连通,顶端出口与硅烷分离提纯装置的入口连通;硅烷分离提纯装置的底端出口与一氯硅烷分离提纯装置的入口连通,一氯硅烷分离提纯装置的底端出口与歧化塔二的入口连通。