一种硅烷的自动充装系统及控制方法
基本信息
申请号 | CN202011518165.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112648529A | 公开(公告)日 | 2021-04-13 |
申请公布号 | CN112648529A | 申请公布日 | 2021-04-13 |
分类号 | F17C7/00;F17C5/00;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/02 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
发明人 | 张鑫;陶刚义 | 申请(专利权)人 | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 姜海荣 |
地址 | 010400 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北内 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种硅烷的自动充装系统及控制方法,系统包括充装瓶和充装自动控制部;充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路;功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路;控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式;本发明采用全自动控制的气动阀,通过自动在线控制和数据采集监测,能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作,直接避免员工由于误操作造成的损失,填补了硅烷系统智能充装的空白,在保证硅烷充装效率的同时,最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全,避免事故的发生。 |
