一种硅烷的自动充装系统及控制方法

基本信息

申请号 CN202011518165.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112648529A 公开(公告)日 2021-04-13
申请公布号 CN112648529A 申请公布日 2021-04-13
分类号 F17C7/00;F17C5/00;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/02 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 张鑫;陶刚义 申请(专利权)人 内蒙古兴洋科技股份有限公司
代理机构 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 姜海荣
地址 010400 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅烷的自动充装系统及控制方法,系统包括充装瓶和充装自动控制部;充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路;功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路;控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式;本发明采用全自动控制的气动阀,通过自动在线控制和数据采集监测,能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作,直接避免员工由于误操作造成的损失,填补了硅烷系统智能充装的空白,在保证硅烷充装效率的同时,最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全,避免事故的发生。