一种用于电子高纯气体的离心压缩机
基本信息
| 申请号 | CN202110511118.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113107872A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113107872A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | F04D17/12（2006.01）I;F04D29/10（2006.01）I;F04D29/62（2006.01）I;F04D29/00（2006.01）I;F04D29/02（2006.01）I;F04D25/06（2006.01）I;F04D27/00（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 杜晓辉;陶刚义 | 申请（专利权）人 | 内蒙古兴洋科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海荣 |
| 地址 | 010400内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩机，包括压缩机主体，压缩机主体具有进气口和排气口；压缩机主体的转子两端转动连接有支撑轴承；转子两端分别套设有轴密封机构，轴密封机构位于支撑轴承和压缩机主体的端头外侧壁之间；轴密封机构为多级串联的干气密封结构。本发明在现有离心压缩机的基础结构上，改进轴密封机构，使用多级串联的密封结构，通入不同的密封气体，保证密封性能良好，使得高纯氢气无二次污染，保证了多晶硅产品生产的洁净度。 |
