一种电催化合成高纯乙硅烷的系统

基本信息

申请号 CN202011543942.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112663074A 公开(公告)日 2021-04-16
申请公布号 CN112663074A 申请公布日 2021-04-16
分类号 C25B1/00;C25B9/00;C01B33/04;B01D3/14 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 陶刚义;汪俊 申请(专利权)人 内蒙古兴洋科技股份有限公司
代理机构 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 崔自京
地址 010400 内蒙古自治区鄂尔多斯市准格尔旗沙圪堵镇工业园区伊东大道北内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电催化合成高纯乙硅烷的系统,包括:电催化反应器、缓冲罐、气体压缩装置、氢气分离装置和乙硅烷分离提纯装置;电催化反应器的出口与缓冲罐入口连通;气体压缩装置的两端分别与缓冲罐的出口和氢气分离装置的入口连通;氢气分离装置的顶端出口与缓冲罐的入口连通,氢气分离装置的底端出口与乙硅烷分离提纯装置入口连通,且乙硅烷分离提纯装置的顶端出口与电催化反应器的入口连通;该系统能直接对甲硅烷进行电催化合成乙硅烷,副产物少,效率高,乙硅烷的纯度高达99.998%。