一种生长铜基多层石墨烯的方法

基本信息

申请号 CN201810759667.8 申请日 -
公开(公告)号 CN108706574A 公开(公告)日 2018-10-26
申请公布号 CN108706574A 申请公布日 2018-10-26
分类号 C01B32/186 分类 无机化学;
发明人 黄孟琼;李璐;屈晓兰 申请(专利权)人 无锡市惠诚石墨烯技术应用有限公司
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 黄冠华
地址 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区堰新路311号1号楼0120室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种生长铜基多层石墨烯的方法,包括如下步骤:(1)对铜箔基底进行预处理后放入支架中;(2)在支架的外面包覆一层金属箔;(3)将上述包覆金属箔的支架放入真空系统进行退火处理;(4)通入含碳气体反应30‑60min,降温后在铜箔的表面即形成多层石墨烯。本发明由于采用低压气相沉积法生长铜基石墨烯,安全性好、生长速度快;在支架的外面包覆一层金属箔可以提高对含碳气体的催化分解效率,使碳原子的浓度增加,同时抑制铜箔基底的蒸发,有助于形成多层石墨烯。采用本发明的方法操作简单易行、外层包覆金属箔可以重复使用,不额外增加能耗,可形成高质量、高多层率的石墨烯。