一种监控和调节刻蚀槽液位稳定性的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种监控和调节刻蚀槽液位稳定性的方法

基本信息

申请号	CN201410340267.5	申请日	-
公开（公告）号	CN104091768B	公开（公告）日	2016-08-24
申请公布号	CN104091768B	申请公布日	2016-08-24
分类号	H01L21/66(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	任军林;陆银川;黄浩;陈志;陈浩;魏青竹	申请（专利权）人	泗阳腾晖光电有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	中利腾晖光伏科技有限公司;苏州腾晖光伏技术有限公司
地址	223800 江苏省宿迁市泗阳县经济开发区众兴东路211号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种监控和调节刻蚀槽液位稳定性的方法，依次包括以下步骤：（a）、测试点处分别安放液位仪，记标准液位高度H_s和该测试点的标准液位公差ΔH_s；（b）、记录任一测试点处的液位高度H_n，当该测试点液位高度H_n与其标准液位高度H_s之差绝对值超出所述的标准液位公差ΔH_s时，相应调整所述刻蚀槽的前后挡板高度、排风口的开度、进药管的进液量；（c）、当该测试点液位高度H_n与其标准液位高度H_s之差绝对值差超出所述的标准液位公差ΔH_s时，重复步骤（b）。这样一方面能够定量的监控刻蚀槽的液位状况，为控制刻蚀槽工艺稳定性提供了一种直接有效的方法；另一方面可以有规律地对刻蚀槽的液位进行调节，加快了刻蚀槽液位的调节速度。